真空是指在指定空間內(nèi)低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)，也就是該空間內(nèi)氣體分子數(shù)密度低于該地區(qū)大氣壓的氣體分子數(shù)密度。

完全沒(méi)有氣體的空間狀態(tài)稱為絕對(duì)真空，實(shí)際上是不存在的。

在真空技術(shù)中，常用真空度來(lái)衡量真空狀態(tài)下空間氣體的稀薄程度，通常真空度用氣體的壓力值來(lái)表示。壓力值越高，真空度越低；壓力值越低，真空度越高。

常用的壓力單位為Pa，1Pa壓力是在1平方米的面積上作用1N的力；此外還有標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm、托Torr、巴Bar等壓力單位。

一般認(rèn)為在標(biāo)準(zhǔn)情況下760mm高的汞柱產(chǎn)生的壓力為1atm，即1atm=760mmHg=101325Pa；1Torr=1/760 atm；1Pa=10ubar（微巴）=10^-2 mbar （毫巴）。

通?？梢园颜婵斩葎澐譃橐韵聟^(qū)段：低真空，10^5 Pa-10^2 Pa；中真空，10^2 Pa-10^-1 Pa；高真空，10^-1 Pa-10^-5 Pa；超高真空，＜10^-5 Pa。

表1：真空度劃分范圍及應(yīng)用領(lǐng)域

圖源：中科儀招股說(shuō)明書

表2：氣體傳輸泵的分類及應(yīng)用

圖源：中科儀招股說(shuō)明書

根據(jù)國(guó)際真空技術(shù)統(tǒng)計(jì)工作組（International Statisticsfor Vacuum Technology，后文簡(jiǎn)稱ISVT）的分類，將真空行業(yè)分為8個(gè)類別，包括粗真空、工藝真空、工業(yè)真空、半導(dǎo)體工藝真空、半導(dǎo)體外薄膜沉積、太陽(yáng)能、儀器制造以及科學(xué)研究。

圖1：ISVT根據(jù)真空度的不同要求和應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⒄婵招袠I(yè)分為8個(gè)類別

圖源：ISVT,  廣發(fā)證券

真空泵是制造業(yè)重要的通用設(shè)備，半導(dǎo)體應(yīng)用占據(jù)最大份額，光伏高增長(zhǎng)。根據(jù) ISVT，2019 年全球真空設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模約 350 億元，其中半導(dǎo)體用真空設(shè)備約 135 億元，占比約 38%，是最大的應(yīng)用領(lǐng)域，此外光伏領(lǐng)域的真空泵需求正快速增長(zhǎng)。

真空泵在半導(dǎo)體領(lǐng)域用途廣泛，在半導(dǎo)體大硅片生產(chǎn)環(huán)節(jié)的單晶爐，在晶圓制造環(huán)節(jié)的光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)等，在封測(cè)環(huán)節(jié)的模塑設(shè)備領(lǐng)域，真空泵均有廣泛的運(yùn)用。