解決方案
英福康膜厚儀系列
日期:2019-12-26 14:39:42
功率方面的問題
功率加上了,束流加不上
檢查:直接測量源輸出電壓是否與功率匹配
功率與束流匹配,但鍍膜速度與以往不一致
功率跳躍過大
檢查:
1、參數(shù)設(shè)置
2、外部原因
坩堝轉(zhuǎn)位方面的問題
現(xiàn)象:坩堝不轉(zhuǎn)位或轉(zhuǎn)動位置不對或一直轉(zhuǎn)位中
檢查:
1、坩堝轉(zhuǎn)位控制的設(shè)置
2、直接測量坩堝轉(zhuǎn)位對應(yīng)的繼電器是否斷開或閉合
3、檢查到位信號
通訊方面的問題
現(xiàn)象:無通訊
檢查:
1、端口設(shè)置:通訊口波特率,校驗位
2、使用RS232 loopback 測試
3、更換USB轉(zhuǎn)RS232線
4、使用端口測試軟件測試電腦端口
參數(shù)丟失的問題
主板電池使用壽命8-10年
建議參數(shù)備份
詳詢電話:17301743486
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